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ITO粉制作靶材的三種工藝方法

點擊次數:   更新時間:17/03/31 08:36:03     來源:www.umri.net關閉分    享:

    正如大家所知道的,ITO粉是制作靶材的好材料。在ITO靶材的生產工藝中,主要有熱壓法、熱等靜壓法和氣氛燒結法三種方

式。其特點如下:
    1、熱壓法:ITO靶材的熱壓制作過程是在石墨或氧化鋁制的模具內充填入適當粉末以后,以100kgf/cm 2~1000kgf/cm 2的壓力單軸向加壓,同時以1000℃~1600℃進行燒結。熱壓工藝制作過程所需的成型壓力較小,燒結溫度較低,燒結時間較短。但不能生產大尺寸的靶。
    2、熱等靜壓法:ITO靶材的熱等靜壓制作過程是將粉末或預先成形的胚體,在800℃~1400℃及1000kgf/cm 2~2000kgf/cm2的壓力下等方加壓燒結。熱等靜壓工藝制造產品密度高、物理機械性能好,但設備投入高,生產成本高,產品的缺氧率高。
    3、燒結法:ITO靶材燒結制作法是在以銦錫氧化物共沉淀粉末或氧化銦和氧化錫混合粉末為原料,加入黏結劑和分散劑混合后,壓力成型,脫脂,然后于1400℃~1600℃燒結。燒結法設備投入少,成本低,產品密度高、缺氧率低,尺寸大。
    利用ITO粉制作靶材主要包括以上三種方法,每一種方法都具有各自的特色,適用于不同的靶材。

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